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浅析热式气体质量流量计的选项注意事项及要求

时间:2021-03-26
热气质量流量计选型注意事项及要求分析:
热式气体质量流量计是一种用于测量和控制气体质量流量的仪器。与其他气体流量计不同,它不需要压力和温度修正,直接测量气体的质量流量。
第一,应用领域:
一是半导体制造业;
2.分析仪器设备行业;
3.各种真空涂层设备;
4.环境检测和分析设备;
化工、石油化工、食品、冶金、光纤等行业;
6.特殊材料的表面处理装置和燃烧;
混气配气系统及泄漏检测系统等。
热式气体质量流量计在选型时应注意以下几个方面:
1.通过介质。热气流量计适用于各种气体,包括特殊气体和腐蚀性气体。以腐蚀性气体为例:如果流量计没有经过特殊处理,腐蚀性气体的特性会导致密封元件的故障,从而影响流量计的正常使用。因此,在选择相关介质时,应特别注意密封材料等信息,如全金属密封、耐氨橡胶等密封材料。此外,氢气、甲烷等可燃气体应注意气体浓度过高引起的爆炸问题。
2.测量范围(或称为流量范围)。选择流量计时,首先要确定所需流量计的测量范围。以HORIBAMETRON(灞场汇博隆)公司产品为例:公司产品用氮(N2)校准。如果使用其他气体,需要转换。非氮气介质用氮气和气体转换系数转换,以确定校准流量。
3.压力范围。HORIBAMETRON流量计的耐压范围为3兆帕,压差范围为(0.05-0.3)兆帕。3兆帕内无需任何补偿即可直接安装使用;需要注意的是,一些行业需要在高压下工作,并确定压力范围是否满足。
4.接口直径。选择接口时,应根据管道条件进行选择。目前主要是φ3mm~φ10mm,1/4¤Swagelok(或VCR),软管接头φ4mm~φ10mm等。
5.电源电压和控制。对于HORIBAMETRON流量计来说,电源电压有±15V和24V两种。控制器接口有9针和15针,9孔和15孔。
6.通信协议。与数字流量计相比,通信协议往往涉及到MODBUS、Profibus、DeviceNet等问题,在选择时要注意协议的类型。备注(有些行业在选择流量计时模拟控制时可以满足要求)需要注意。
7.其他相关问题请详细咨询制造商的相关技术人员。

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